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超精密飞刀加工光学微结构阵列的研究

上传者: 2020-08-12 18:25:47上传 PDF文件 584.85KB 热度 16次
超精密飞刀加工光学微结构阵列的研究,王素娟,,微结构阵列可满足一些特定的性能,广泛应用于民用和军用领域。采用超精密加工技术实现微结构表面,除了可直接达到面形精度亚微米
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