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一种磁性薄膜/石英音叉复合磁传感器研究

上传者: 2020-08-09 16:49:21上传 PDF文件 420.21KB 热度 14次
一种磁性薄膜/石英音叉复合磁传感器研究,曾婕,文玉梅,针对磁电层合式磁传感器Q值低的问题,提出一种磁性薄膜与石英音叉复合的磁传感器结构,通过检测音叉谐振频率变化量或Q值变化量,�
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