集成电路及微机械加工技术

关于集成电路的内容,一、 概论 二、 工艺流程实例(图解) 三、 基本单项工艺技术 1、 扩散-掺杂 2、 离子注入-掺杂 3、 氧化-薄膜生长 4、 CVD-薄膜生长 7、 金属化(PVD)-薄膜,互连 5、 光刻-图形转移 6、 刻蚀-形成图形 8、 清洗 四、工艺集成开发