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微/纳器件接触面间弯月面力及黏着力分析

上传者: 2020-08-08 09:24:24上传 PDF文件 354KB 热度 11次
微/纳器件接触面间弯月面力及黏着力分析,刘思思,张朝辉,微/纳米器件表面微尺度粗糙结构间由于液体介质存在而引起的弯月面力和黏着力是导致器件精度降低乃至失效的主要原因之一。文章建�
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