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掺铒纳米晶硅发光器件电致发光机制的研究

上传者: 2020-08-06 21:12:38上传 PDF文件 439.47KB 热度 25次
掺铒纳米晶硅发光器件电致发光机制的研究 ,刘海旭,张慧玉,本文目的在于研究掺铒纳米晶硅MIS结构电致发光的机制。采用多靶射频磁控共溅射结合后退火工艺制备了掺Er纳米晶硅MIS结构发光器件,�
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