前端工艺和后端工艺.doc

前端工艺(FEOL):front-end of layout,就是指在模拟集成电路中contact之前的工艺,也可以理解为晶体管的尺寸大小。后端工艺(BEOL):front-end of layout,就是指在模拟集成电路中contact之后的工艺,金属互联层,也可以理解为metal的尺寸大小。