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氢气感性耦合等离子体模式跳变的流体模拟

上传者: 2020-08-04 18:29:49上传 PDF文件 659.78KB 热度 9次
氢气感性耦合等离子体模式跳变的流体模拟,徐会静,张钰如,本文采用流体模型与电磁理论相耦合的方法,研究了平面线圈感性耦合氢气等离子体放电的模式转换特性。通过调节线圈电流,我们观察
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