论文研究 电镀:在半导体行业中的应用

根据应用类型，已经进行了很多有关金属电镀的研究。 在本章中，将从实验和建模的角度详细讨论该技术对半导体行业的重要性。 特别地，讨论了溶液变量，即氯化物，促进剂，抑制剂对铜电沉积的影响。 这些知识可用于实现无缺陷的，自下而上的金属/铜填充，最终，这是该十亿美元行业中最关键的过程之一。