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静电微泵致动特性及其尺寸效应分析

上传者: 2020-07-24 04:18:55上传 PDF文件 484.15KB 热度 11次
静电微泵致动特性及其尺寸效应分析,刘迎伟,刘凯,分析静电吸合现象,给出吸合电压的计算公式,以圆形泵膜为例,研究吸合电压的尺寸效应及泵膜几何尺寸对吸合电压的影响,得到静电
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