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氧刻蚀超薄碳膜在硬盘保护中的应用

上传者: 2020-07-24 02:13:59上传 PDF文件 1.01MB 热度 9次
氧刻蚀超薄碳膜在硬盘保护中的应用 ,薛沛东,杨雷,本文采用电子回旋共振技术(ECR)溅射沉积超薄碳保护膜,并在沉积过程后,分别使用氩离子和氧离子对碳膜进行刻蚀后处理,为实现硬
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