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非球面非零位横向剪切干涉检测方法研究

上传者: 2020-07-22 10:06:09上传 PDF文件 587.83KB 热度 11次
非球面非零位横向剪切干涉检测方法研究,王起维,孙涛,非球面检测一直以来是该领域的研究热点和难点。普通干涉仪零位检测获得的干涉图代表的是被测波前的误差,而非球面零位检测需要零
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