1. 首页
  2. 移动开发
  3. 其他
  4. 基于多孔硅微腔微阵列的制备及检测

基于多孔硅微腔微阵列的制备及检测

上传者: 2020-07-22 08:43:56上传 PDF文件 655.31KB 热度 15次
基于多孔硅微腔微阵列的制备及检测,陈位荣,贾振红,我们结合光刻和电化学腐蚀方法,成功在单晶硅衬底上制备出一个8*8的一维多孔硅光子晶体微腔的微阵列器件,微阵列的每个阵列单元直
下载地址
用户评论