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SEMI E84 0301 SPECIFICATION FOR ENHANCED CARRIER HANDOFF.pdf

上传者: 2020-07-21 23:26:59上传 PDF文件 1.69MB 热度 100次
设备自动化协会标准文档,半导体制造行业自动运输系统需要遵守的通讯标准。自99年在E23的基础上制定了E84后,E84逐渐成为主流,开发必备。
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