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大气环境下的硅纳米粒子热氧化过程研究

上传者: 2020-07-21 20:22:02上传 PDF文件 425.58KB 热度 12次
大气环境下的硅纳米粒子热氧化过程研究,崔浩,王成新,通过观察同一硅纳米粒子在不同时间下的连续氧化情况,我们讨论了硅纳米粒子在大气环境下的氧化过程。相比于体薄膜硅的氧化,硅纳
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