大气环境下的硅纳米粒子热氧化过程研究
大气环境下的硅纳米粒子热氧化过程研究，崔浩，王成新，通过观察同一硅纳米粒子在不同时间下的连续氧化情况，我们讨论了硅纳米粒子在大气环境下的氧化过程。相比于体薄膜硅的氧化，硅纳
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