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铋基焦绿石薄膜的湿法刻蚀方法研究

上传者: 2020-07-21 19:51:15上传 PDF文件 245.74KB 热度 22次
铋基焦绿石薄膜的湿法刻蚀方法研究,高莉彬,李汝冠,铋基焦绿石薄膜具有介电可调性,并且介电常数适中、介电损耗低,是具有前景的微波可调介质薄膜材料。在器件微细加工过程中发现,
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