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多光束纳秒紫外激光制作硅表面微结构.pdf

上传者: 2020-07-21 02:36:43上传 PDF文件 2.18MB 热度 12次
该研究是改变硅表面微结构, 优化硅材料特性的一种新方法, 并扩展了大功率激光刻蚀在表面微加工领域的应用.
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