微机电系统导论.pdf

几年前，我站在客户面前的观众面前，解释了微加工技术的优点。 小会议室挤满了人，所有的耳朵都很贴心。 每个人都渴望了解这个神秘的流行词，即“MEMS”。观众中的许多人都表示理解的迹象，但许多面孔上凝视的目光背叛了他们。 这种经历并不是唯一的，相反，它在世界各地的礼堂里经常重演。 这项技术过于宽泛，无法在简短的讲座中解释。 许多技术经理，工程师，科学家，甚至是微机电系统很少或根本没有经验的工科学生都对学习这种新兴技术表现出浓厚的兴趣。