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蒸发氧化法制备高透过率ZnO薄膜

上传者: 2020-07-20 07:46:00上传 PDF文件 387.52KB 热度 21次
蒸发氧化法制备高透过率ZnO薄膜 ,李雪,程轶,本文采用热蒸发法在普通玻璃衬底上蒸镀Zn膜,利用低温氧化法制备出ZnO薄膜,并研究不同的氧化方法对ZnO薄膜的影响。采用X射线衍射(
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