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直流诱导的高功率脉冲非平衡磁控溅射

上传者: 2020-07-20 06:17:32上传 PDF文件 358.8KB 热度 18次
直流诱导的高功率脉冲非平衡磁控溅射,牟宗信,贾莉,发表了直流诱导的高功率脉冲非平衡磁控溅射模式的现象和机制分析。常规圆形平面磁控靶与同轴线圈构成非平衡磁控溅射靶,同轴线圈
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