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基于纳米球光刻技术制备金属纳米孔阵列的工艺研究

上传者: 2020-07-20 05:08:24上传 PDF文件 493.77KB 热度 23次
基于纳米球光刻技术制备金属纳米孔阵列的工艺研究,王朝光,吴学忠,金属纳米孔结构阵列具有特殊的光学特性,在生化检测、太阳能电池及表面增强拉曼散射等方面具有潜在应用。纳米球光刻技术工艺简单
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