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Si衬底GaN基材料及器件的研究.pdf

上传者: 2020-07-19 16:00:16上传 PDF文件 227.47KB 热度 32次
GaN作为新型的宽禁带半导体材料,一直是国际上化合物半导体方面研究的热点。GaN属于直接带隙材料,可与InN,AlN形成组分连续可变
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