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Development of a Driving and Control System of Micro nano CMM

上传者: 2020-07-19 15:53:55上传 PDF文件 419KB 热度 27次
微纳米三坐标测量机驱动与控制系统的研究,黄强先,宫二敏,本文主要介绍了纳米三坐标测量机的驱动系统。纳米三坐标测量机是一个十分复杂的系统,包括复杂的机械结构,精密的信号处理系统,
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