论文研究 铝微球制造过程中有效原子积累的增强

Al的微球已成功利用电迁移技术制造，该技术使用的是样品几何形状的突然变化。 实验样品是钝化的Al线，在样品的过渡区域带有孔。 该孔用于控制累积和排出过程。 通过控制温度和电流密度可以增强微球的形成。 原子通量随着电流密度的增加而增加，该电流密度是在样品几何形状的小区域沿电子流动方向发生的。