二维双频容性耦合等离子体混合气体放电模拟
二维双频容性耦合等离子体混合气体放电模拟，刘相梅，宋远红，本文采用二维轴对称的柱坐标下的流体力学模型研究由氮气（N2），硅烷（SiH4）和 氨气（NH3）组成的混合气体在双频容性耦合等离子体�
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