单晶炉副室清理器结构的研究

为了提高单晶炉副室清理器的清理效果和适用范围,研究了一种新型单晶炉副室清理器。结合副室的结构特点,分析了现有清理器存在的问题,阐述了清理机理,提出了一种接触面大、直径可变的设计思路,并设计了伞状单晶炉副室清理器的机械结构。结果表明:设计的清理器具有结构简单、适用性强和清理效果好的特点,具有一定的推广价值。