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硅的各向异性腐蚀性

上传者: 2020-07-19 04:57:24上传 PDF文件 104.33KB 热度 24次
硅工艺上主要利用硅的各向异性是在腐蚀、刻蚀方面。如单晶硅与碱的各项异性腐蚀:由于各晶面原子排列密度、方式不同,导致其纵向横向的反应速率不同,从而其在纵向和横向上在相同液体、温度、时间的条件下纵向腐蚀的深度与横向腐蚀的长度不同。
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