溶胶 凝胶法制备钛酸钡薄膜过程中溶剂的选择

合成透明稳定的溶胶对于制备优异电性能的BaTiO(3BT)薄膜是尤为关键的一步。以无水乙醇、异丙醇、乙二醇和乙二醇甲醚4种溶剂做对比,从合成溶胶的稳定性、表面张力以及制备出的BaTiO3薄膜的SEM等几方面比较了4种溶剂的优缺点,最后以乙二醇甲醚合成的溶胶最清晰、稳定,用此溶胶在Si(100)基底上得到了均匀无开裂的钛酸钡薄膜。