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Intelligent Distributed Parameter Modeling of the Micro Cantilever Used in Atomi

上传者: 2020-07-18 20:39:12上传 PDF文件 344.11KB 热度 23次
原子力显微镜微悬臂智能分布参数建模,齐臣坤,赵现朝,原子力显微镜的微悬臂是空间分布的柔性机械系统。微悬臂的精确模型对于精确的悬臂末端定位和力测量十分重要。传统的集中参数模型
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