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双势阱静电波动的驻波共振和耦合共振

上传者: 2020-07-18 15:20:25上传 PDF文件 358.34KB 热度 18次
双势阱静电波动的驻波共振和耦合共振,牟宗信,牟晓东,非平衡磁控靶表面电场和磁场相互正交构成磁阱结构,磁控靶和与之平行的偏压基片之间形成了另一种势阱结构,等离子体静电波动在这
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