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第3章 扩散(电子科大mems课件).ppt

上传者: 2020-07-18 14:43:24上传 PPT文件 7MB 热度 14次
“扩散” 是一种基本的掺杂技术。通过扩散可将一定种类和数量的杂质掺入硅片或其它晶体中,以改变其电学性质。
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