基于PSD的小角度测量系统的设计
基于PSD的小角度测量系统的设计，刘泊，张明富，本文的目的是设计一维小角度的测量装置，主要是利用光自准直原理，将微小角度的测量转换为微位移的测量，使用高位置分辨率的光电
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