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Influences of working power on properties for boron films deposited by RF magnet

上传者: 2020-07-18 05:25:58上传 PDF文件 516.97KB 热度 22次
溅射功率对磁控溅射法硼膜性能的影响,杨溢铭,黄健,由于硼、富硼薄膜所具有的独特性质,比如高熔点(约2500K)、低密度、高硬度、好的热电特性及中子屏蔽特性等,近年来受到大家的广�
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