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论文研究 Parallel valveless micropump with two flexible diaphragms.pdf

上传者: 2020-07-18 04:47:23上传 PDF文件 307.62KB 热度 6次
电磁驱动无阀并联微泵,苏宇锋,陈文元,本文提出了一种并联式动态无阀并联微泵,该微泵由阀体、振动膜和电磁线圈三层结构组成。其中,阀体是由休硅湿法刻蚀制得,阀体上
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