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基于AFM悬臂探针的微纳米力学检测系统及其在变形解耦测量中的应用

上传者: 2020-07-18 04:45:25上传 PDF文件 335.36KB 热度 13次
基于AFM悬臂探针的微纳米力学检测系统及其在变形解耦测量中的应用,苏东川,李喜德,在微纳器件中结构的尺度极度缩小,因此其力学性能成为人们关注的热点问题之一。探针由于具有结构简单、尺度小、灵敏度高等优点,
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