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德国Centrotherm_PECVD设备E2000中文说明书.pdf

上传者: 2020-07-18 03:44:43上传 PDF文件 904.02KB 热度 11次
Centrotherm PECVD系统是管式系统,采用平行式石墨舟和低频(40kHz)激发等离子体放电。在低压和高温的条件下,等离子体在石墨舟
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