论文研究 无机二色层与喷涂有机层结合的低温薄膜封装。

有机器件具有许多优势，例如低材料消耗和低能耗要求，但它们在长期稳定性方面存在严重问题。 因此，我们需要开发解决该问题的阻挡膜。 最初，有机器件是在玻璃上制造的，并使用玻璃和环氧树脂（作为密封剂）进行封装。 逐渐地，需要转向柔性基板，该柔性基板也需要封装也具有柔性。 因此，这项工作的动机是开发可以变得灵活的薄膜封装。 SiOx和SiNx的低温PECVD生长膜用作阻挡膜。 交替的无机层（2倍）可提供约10-2 g / m2天的屏障，将2倍数增加到5倍只能将水蒸气透过率（WVTR）提高一个数量级。 然而，在这种结构中引入有机层导致WVTR值约为10-5 g / m2·day。 通过喷雾技术沉积有机层