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论文研究 一种用于光学器件封装的圆片级玻璃微透镜阵列的制备 .pdf

上传者: 2020-07-17 21:08:55上传 PDF文件 732.73KB 热度 22次
一种用于光学器件封装的圆片级玻璃微透镜阵列的制备,徐超,罗新虎,本文介绍了一种使用Pyrex7740玻璃制备圆片级二元微透镜阵列的方法,它可以应用于红外探测器、LED等光学器件。本工艺基于硅微加工工艺
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