氮气流量对AEGD混合CVD涂层含铬DLC(金刚石碳)涂层的影响

随着对电极材料的小型化的兴趣的增长，电动和混合动力汽车的发展获得了动力。 特别地，在保持电阻率的同时，提高不锈钢的电性能同时保持耐腐蚀性的技术引起了人们的兴趣。 目前正在对类金刚石碳涂层中的金属掺杂进行研究，以提高导电性和耐腐蚀性，并具有优异的性能，如耐腐蚀性和润滑性。 这是使用带有DLC涂层的Cr电弧驱动AEGD的过程。 含Cr的DLC膜中的I（D）/ I（G）（石墨峰（G）和无序键峰（D））比及G峰位置的变化引起石墨化，因此降低了基本电阻。 同时输入氮气会导致DLC涂层中Cr和N按特定比例沉积CrN，并且氮原子取代键中的氢以增加DLC膜中未沉积CrN的sp3键结构。导致特定电阻率等于或小于