压印光刻中压印力与留膜厚保值度的研究 上传者：daydayshow 2020-07-17 20:18:01上传 PDF文件 667.6KB 热度 17次 压印光刻中压印力与留膜厚保值度的研究，尹磊，丁玉成，针对压印光刻（IL）工艺实现图章保真复型对阻蚀胶残留膜的厚度和均匀度的要求，对压印固化过程中压印力与残留膜厚度以及残留膜在� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 daydayshow 资源：451 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
