多晶硅铸锭炉喷淋式氩气导流系统数值模拟优化 上传者：pchp11635 2020-07-17 18:31:01上传 PDF文件 968.73KB 热度 38次 多晶硅铸锭炉喷淋式氩气导流系统数值模拟优化，苏文佳，李琛，通过优化氩气流场可以降低多晶硅铸锭中杂质分布及数量，从而生长高质量晶体。本文使用Fluent软件对氩气死区、盖板开孔、氩气出口数 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
