1. 首页
  2. 移动开发
  3. 其他
  4. MEMS微型富集器的制备及其对有机硫气体的吸附性能研究

MEMS微型富集器的制备及其对有机硫气体的吸附性能研究

上传者: 2020-07-17 16:53:13上传 PDF文件 438KB 热度 14次
MEMS微型富集器的制备及其对有机硫气体的吸附性能研究,李亚茹,袁晓敏,本文采用MEMS工艺完成对三维格栅分流型富集器结构的加工。分别以碳纳米管和Tenax-TA作为吸附材料,完成这两种吸附材料的吸附性能对比
下载地址
用户评论