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氢气对化学气相沉积热解炭的影响

上传者: 2020-07-17 11:00:21上传 PDF文件 1.03MB 热度 18次
氢气对化学气相沉积热解炭的影响,樊哲琼,谭瑞轩,为了研究氢气载气对化学气相沉积微环境的影响,自行设计了化学气相沉积炉并在温度为900℃,体积比为1:10丙烯/载气条件下,载气分别�
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