结构光照明并行物方差动快速测量方法研究.pdf

结构光照明并行物方差动快速测量方法研究.pdf,激光扫描差动共聚焦显微测量方法具有纳米量级的轴向测量精度，然而信号在离焦位置获取，横向分辨率较低，而且使用激光逐点扫描方式，测量速度慢；基于空间光相位调制的结构光照明显微成像方法，可以实现超分辨率成像，但不具备高的轴向测量精度，因此这两种方法都不能满足微纳加工过程中复杂物体微观表面形貌在线、在位测量的要求。将空间光相位调制结构光照明显微成像技术与差动轴向测量方法结合，提出基于结构光照明的并行物方差动快速测量方法。该方法只需要使用一台面阵相机做探测器，在结构光照明相位调制模式下，获取样品在焦前和焦后位置的相位图像并分别合成对应的焦前及焦后高分辨率图