论文研究 增强纳米结构减反射膜的机械稳定性

周期性的纳米结构减反射涂层（NALs）是一种增强相干光透射而不会引起散射的有前途的选择。 我们发现将NAL的高度降低到低于临界值以增强机械稳定性会大大降低传输效率。 在这里，使用严格耦合波分析（RCWA），我们发现超过99％传输的最小高度以及高度对传输带宽的影响。 然后，在一步式等离子体蚀刻过程中，生成了两个高度不同的样品，并使用RCWA评估了它们的效率。