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Application Theory and Process of Glancing Angle Deposition

上传者: 2020-07-17 02:51:30上传 PDF文件 485.23KB 热度 22次
掠角沉积技术的应用、理论及工艺方法,曹永智,吴超,薄膜技术有着悠久的历史。随着纳米技术的不断发展,纳米结构薄膜再次成为研究热点。近些年来,作为构筑纳米结构薄膜的有效方法,
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