论文研究 静电传感器点电荷测量模型的研究

在严勇以前的研究中建立的静电传感器的数学模型中，模型中未考虑绝缘层的厚度。 为了更深入地研究静电传感器的静电监测，本文在建立传感器数学模型时考虑了绝缘层的影响。 通过建立数学模型，推导并建立了点电荷测量模型。 通过研究传感器的灵敏度，可以得出结论，必须考虑传感器绝缘层。 绝缘层的厚度降低了传感器的灵敏度，并且获得了传感器空间灵敏度与研磨粒径距离之间的关系。 通过与前人建立的模型比较，得出本文建立的数学模型是可行和可靠的。 对于静电传感器的未来研究。