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论文研究 光电化学制备相干多孔硅等径控制技术研究 .pdf

上传者: 2020-07-17 01:43:32上传 PDF文件 505.52KB 热度 15次
光电化学制备相干多孔硅等径控制技术研究,刘微,端木庆铎,相干多孔硅(Coherent Porous Silicon, CPS)是通道尺寸在微米量级且大小均匀,空间规则排列的多孔硅阵列,其具有高长径比,大孔隙率等优点,
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