1. 首页
  2. 移动开发
  3. 其他
  4. 硅烷等离子体中尘埃微粒流体模型的研究进展

硅烷等离子体中尘埃微粒流体模型的研究进展

上传者: 2020-07-17 00:13:54上传 PDF文件 433.96KB 热度 16次
硅烷等离子体中尘埃微粒流体模型的研究进展,庄娟,,控制硅烷等离子体中纳米粒子的产生和生长,可以有效的控制薄膜的沉积速度和质量,为此研究人员建立了流体模型并与粒子生长基制和
下载地址
用户评论