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表面气流状态对TFA MOD法制备YBCO薄膜的影响

上传者: 2020-07-16 19:53:38上传 PDF文件 436.61KB 热度 20次
表面气流状态对TFA-MOD法制备YBCO薄膜的影响,陈欢,冯峰,在三氟乙酸盐沉积法制备钇钡铜氧超导薄膜的过程中,反应产物氟化氢气体可能聚集在样品表面对薄膜产生不利影响,因此表面的气流状
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