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基于溶液法对氧化铝薄膜MIS的性能研究

上传者: 2020-07-16 18:12:52上传 PDF文件 376.13KB 热度 18次
基于溶液法对氧化铝薄膜MIS的性能研究,都昊,宋贵才,以乙二醇单甲醚为溶剂,九水硝酸铝为前驱物,乙酰丙酮为螯合剂,采用溶胶-凝胶技术进行试验。对该技术制备的氧化铝薄膜厚度、透
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